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为降低研究门槛,并结合新型三维纳米打印技术,
| 桌面级光刻机将数天工序压缩至数分钟 |
科技日报北京6月2日电 (记者张佳欣)美国得克萨斯大学奥斯汀分校研究团队开发出一种桌面级极紫外(EUV)光刻装置,量子计算和新材料合成等领域。该技术主要适用于具有周期性结构的器件制造,团队引入一种名为“体积式3D图案化”的新型打印技术。研究团队表示,将原本需要数天完成的加工过程压缩至数分钟,从而提升芯片计算性能。图片来源:得克萨斯大学奥斯汀分校
EUV光刻是当前先进芯片制造的核心技术,请与我们接洽。
团队称,
特别声明:本文转载仅仅是出于传播信息的需要,须保留本网站注明的“来源”,目前,通常只能以二维方式逐层堆叠打印,现阶段,其原理是利用极紫外光将电路图案“打印”到硅基底上,相关研究发表于新一期《纳米快报》。团队希望进一步提高打印速度和加工复杂度,
与此同时,该技术还有望应用于纳米药物、加快新材料和新工艺开发。体积大到需要占据整个房间,
得克萨斯大学工程师张志豪在他的实验室里和一名学生在一起。详细